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Otsuka大塚電子晶圓膜厚儀
產(chǎn)品型號:Load Port晶圓在線測厚系統(tǒng) GS-300
產(chǎn)品品牌:Otsuka大塚電子
產(chǎn)品介紹:

Otsuka大塚電子的晶圓膜厚儀采用分光干涉法進(jìn)行非接觸、無損測量,適用于硅晶圓、玻璃基板等材料的厚度檢測,具備高精度、實(shí)時(shí)監(jiān)測等特點(diǎn)。

詳細(xì)介紹

Otsuka大塚電子的晶圓膜厚儀采用分光干涉法進(jìn)行非接觸、無損測量,適用于硅晶圓玻璃基板等材料的厚度檢測,具備高精度、實(shí)時(shí)監(jiān)測等特點(diǎn)。 ?

核心參數(shù)

  • ?測量范圍?:硅晶圓厚度可測6-1300μm(不同型號覆蓋6-400μm至50-1300μm),樹脂薄膜10-2600μm;
  • ?精度?:重復(fù)精度達(dá)0.01%;
  • ?采樣頻率?:*高5 kHz(200μs采樣周期);
  • ?光源?:半導(dǎo)體激光光源;
  • ?工作距離?:支持50-200mm調(diào)節(jié),適合集成到產(chǎn)線設(shè)備中。 ?

功能特點(diǎn)

  1. ?實(shí)時(shí)監(jiān)測?:適用于研磨拋光過程厚度監(jiān)控,支持多層結(jié)構(gòu)測量;
  2. ?強(qiáng)酸環(huán)境適用?:可測量玻璃基板在強(qiáng)酸減薄工藝中的厚度變化;
  3. ?高速檢測?:*快5 kHz采樣頻率,滿足半導(dǎo)體制造的實(shí)時(shí)性要求;
  4. ?微區(qū)測量?:*小光斑直徑20μm,適配微納結(jié)構(gòu)檢測。 ?

型號選擇

  • ?SF系列?(如SF-3/200):適用于硅晶圓及化合物晶片,測量范圍6-400μm;
  • ?OPTM系列?:支持深紫外至近紅外波段,光斑可細(xì)至3μm,適合半導(dǎo)體芯片微區(qū)測量;
  • ?GS系列?(如GS-300):專用于晶圓厚度解析。 ?
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