DSF-L800
高い分解能で広いダイナミックレンジの測定を可能にした、デジタル表面形狀?粗さ測定機です。
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変位検出器にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形狀”と“表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能。
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より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接觸點フィルタを標準裝備。
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検出器過負荷停止機能標準裝備。
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Z分解能/測定範囲
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0.75nm / ±6mm
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Z検出方式
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半導體レーザスケール
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觸針
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R2μm 0.7mN
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解析項目
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形狀解析（要素、スカラ量、統(tǒng)計量、マスタ比較、公差判定）
表面粗さ（JIS、ISO、DIN、ANSI、BS）
表面うねり（JIS）
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株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
設備特點：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。
KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計，粗度儀
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機
KOSAKA小壇輪廓儀
KOSAKA小坂臺階儀，膜厚儀，薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀
KOSAKA小坂測量儀配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置
KOSAKA小坂微細深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置
KOSAKA小坂關節(jié)管測量儀
KOSAKA小坂探針卡檢測設備
KOSAKA小坂高精度貼片機
KOSAKA小坂傳感器
表面粗度測定機:
SE300,SE500,SE600,SE610,SE600K,SE600K31
SE700.SE4000.
表面粗度,輪廓形狀測定機:
SEF580-G18,SEF580--G18D,SEF580-M50,SEF580-M58,SEF580-M58D.SEF680.SEF680K
細微形狀測走機:
ET200,ET4000,ET10000
表面形狀,粗度測定機:
DSF600.DSF900.
輪廓形狀測定機:
EF550-G18,EF550-G18D,EF550-M50,EF550-M58,EF550-M58D,EF650,EF650D,REF100
真圓度,圓頭形狀測定機:
EC600,EC1550H,EC1650H,EC1850H,EC2150,EC2500H,EC2700H,EC2500HF,EC2700
EC3300PEC3600A,EC3600B,EC3600CEC4100H，EC5100H,EC6100