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KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所半導體實驗室
產品型號:全自動臺階儀ET200針對半導體硅
產品品牌:KOSAKA小坂研究所
產品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創業以來,一直以使用精密工程學技術被信賴的“技術”為口號,開發、銷售商品群。擁有以形狀測量機為中心的精密機器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機器、以及半導體制造相關裝置、自動包裝機等自動設備三個領域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細介紹

SEF580A-G18D

“表面粗さ”と“輪郭形狀”の2つの測定が可能です。タッチパネル採用で「測定條件の切り替え」等の操作性に優れ、多種多様なワークの測定に素早く対応できます。

  • 表面粗さ測定
    • 1回の測定で規格が異なるパラメータの解析ができ、新しい規格への移行がスムースに行えます。
  • 輪郭形狀測定
    • X軸の*大測定サンプリング數が64,000點と多く、高分解能で長距離の測定が可能です。

表面粗さ

測定範囲/分解能 Z:600μm/0.08nm
送り速さ 0.02~10mm/s
觸針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形狀

測定精度 Z:±0.25%(弊社規格)  X:±(1+0.02L)μm以下
L:測定長さ(mm)
測定範囲 Z:50mm  X:100mm
觸針 R25μm  10~30mN
ET200是一款高精度表面形貌測量儀器,能夠測量臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度及薄膜應力等參數。配備多種型號探針,具備程序控制接觸力和垂直范圍功能,并配有彩色CCD攝像頭進行原位觀測。該設備采用機械直動式設計,具有優異的再現性和線性度,Z方向分辨率達到0.1nm,能實現長達100mm的長距離測量且對樣品無損傷。


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創立的公司,也是日本一家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。


設備特點:
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。



KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計,粗度儀

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機

KOSAKA小壇輪廓儀

KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關節管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設備

KOSAKA小坂高精度貼片機

KOSAKA小坂傳感器


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